磁気的に浮揚されたTurbomolecularの真空ポンプの低い振動CXF-320/3000E

磁気浮上ポンプ、CXF-320 / 3000E、水冷、ISO-F、外部コントローラー

磁気浮上分子ポンプは、軸力が磁力によって支えられるポンプです。

シリーズ磁気浮上式分子ポンプは、現代の半導体製造、チップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野の用途要件を満たすためにKYKYによって開発された真空発生装置です。

電磁軸受は「磁気浮上軸受」とも呼ばれ、磁気軸受、センサ、および制御システムで構成されています。 この設計は動的応答および時機を得た調節、高速シャフト処理および信頼できる操作を有する。

利点：

1.作動中の摩擦がゼロ、そして低消費電力

2.ポンプのための潤滑なしで本当にきれいな高真空および超高真空を得ること容易

3.腐食性ガスを長期間抽出することが可能

4.精密セラミックボールによるベアリングの保護による高い安全性と長寿命

5.突然電源オフの場合の発電機能

摩擦がない

7.無公害

8.メンテナンス不要

9.低振動

10.任意の向きに取り付けます。

テクノロジ：

• 磁気軸受の制御技術： 5軸磁気浮上 この設計は、先進的な国際制御理論に基づく動的能動閉回路磁気懸架制御技術による動的応答および適時調整を有することができ、安定した浮揚された信頼性のある動作としての高速シャフトのこのような大きな利点を保証する。
• モータ駆動制御技術：高効率高速DCモータとサーボ制御システムを直列磁気浮上ポンプに適用して、モータの最大エネルギーを確保し、軸の回転速度を自動的に補償し、それによって安定した起動を実現します。動的エネルギーの信頼できる操作そして自動調整機能。
• 炭素繊維複合回転子技術：直列磁気浮上式分子ポンプのターボ回転子は、高強度アルミニウム合金と軽量の炭素繊維を配合して作られています。 すべてのアルミニウム合金製ローターと比較して、ターボローターは大幅な軽量化と大きな強度向上を特徴としているので、高速回転、高性能および高信頼性の目標が達成される。
• 耐食性技術：シリアル磁気懸濁液分子ポンプのチャンバー内の部品の表面は特殊なプロセスで処理されているため、表面は半導体製造プロセスにおける腐食性ガスによる腐食に長期間耐えることができます。 また、ポンプ内の低真空部を保護するためにポンプの立上げ時にN2などの不活性ガスが十分に充填されているため、腐食性ガスを長期間安定して排気する機能が実現されます。
• 加熱温度制御システム：一連の磁気浮上式分子ポンプは電気ヒーターと温度コントローラーを備えているので、冷却水、空気骨の加熱、電気加熱、および保護ガスによって運ばれる熱を運転中に監視および制御することができます。ポンプは長期にわたってある値に維持することができ、いくつかの気体物質は常温で固体物質に変換されず、ポンプ内に堆積せず、そしてエッチングのような特別なプロセスに対する要求を満たすことができる。

仕様：

アプリケーション：

シリーズ磁気浮上分子ポンプは、主に半導体製造、クリップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野、特にエッチング、CVD、PVDおよびイオン注入に存在する腐食性ガスの抽出および常温で容易に凝固するガスの分野に適用される。