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商品の詳細:
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| フランジ: | ISO-K/CF 160 | 冷却: | 空気 |
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| 潤滑: | オイル | 適用: | コーティング、CVDのイオン・インプランテーション、電子ビーム溶接 |
| ハイライト: | turbomolecular真空ポンプ,ターボ真空ポンプ |
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ターボ分子ポンプFF-160 / 620E、水冷、オイル潤滑
オイル潤滑ターボポンプは、KYKYが開発したコンパクトで高性能な製品です。 オイル潤滑ターボポンプの利点は、コンパクトな構造、便利な操作、柔軟な設置、広い応用範囲、そして安定した性能です。
利点：
1.過酷な環境（高温、ほこりなど）の下での良好な性能。
2.安定した性能および長い耐用年数
3.簡単なメンテナンス、便利な操作
アプリケーション：
主な用途は、工業用リーク検出、PVD、CVD、イオン注入、真空電子部品製造、低Eガラス、ITOガラス、光学コーティング、太陽電池、電子ビーム溶接、真空炉およびその他の産業です。
仕様：
| フランジ（イン） | DN160 CF / ISO-K |
| フランジ（アウト）KF | DN40 |
| ポンプ速度（L / s） | N2：600 |
| 彼：380 | |
| H2：240 | |
| Ar：580 | |
| 圧縮率 | N2：10 9 |
| 彼：10 5 | |
| H2：10 4 | |
| Ar：10 9 | |
| 到達圧力（Pa） | CF：6×10 -8 |
| ISO-K：6×10 -7 | |
| 最大 連続前真空圧（Pa） | 240 |
| 最大 前真空圧 | N2：350 |
| ガス処理量（sccm） | N2：1200 |
| 彼：880 | |
| H2：700 | |
| Ar：450 | |
| 回転速度（rpm） | 36000 |
| 立ち上がり時間（分） | ≦9 |
| 冷却タイプ、標準 | 空気 |
| 冷却水消費量（リットル/分） | 1以上 |
| 冷却水温（℃） | ≦25 |
| 電源接続：電圧（V AC） | 220±22 |
| 最大消費電力（W） | ≦500 |
| コントローラーモデル | TCDP-II 2.5メットケーブル付き |
| 重量（キログラム） | 29（LF）30.5（CF） |
コンタクトパーソン: sales
電話番号: +8613810212935
