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Turbomolecularポンプ

潤滑のTurbomolecularの真空ポンプFF-250/2000Eの単純構造にグリースを塗りなさい

低Eガラス工業のための潤滑のターボ分子ポンプFF-100/110Eにグリースを塗りなさい

ターボ水冷分子ポンプ300L/S N2のポンプの体積流量モジュールの設計

Turbomolecular産業ポンプ土台位置63L/SのN2のポンプの体積流量

イオン真空ポンプ

超高真空7×10-8 Paの最終的な圧力を差し引いたスパッタイオンポンプオイルを

-5KVの三極管は不活性ガスのポンプ率を高めるポンプイオンステンレス鋼を放出させる

+7KVイオン真空ポンプゼロの振動65L/S空気0.6L/S Arポンプの体積流量

-5KVイオン真空ポンプ55L/Sの空気12L/S Ar高真空の程度を差し引いたオイル

真空のゲート弁

1E-7 Paの適用へのよい堅さの真空のゲート弁の容易な取付け1E+5

1E-7 Paの適用セリウムへの極めて薄い高真空弁1E+5は承認した

機会のための1E-7 Paの適用への専門の真空のゲート弁1E+5

ステンレス鋼の高真空のゲート弁の漏出率1.3×E-10 PaM3/▪S

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