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最終的な圧力: | CF:6×10-8 ISO-K:6×10-7Pa | フランジ: | DN160 CF/ISO-K |
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冷却: | 空気 | 推薦されたforevacuum圧力: | 100Pa |
ハイライト: | 小型ポンプ場,真空ポンプの場所 |
ポンプステーションFJ-700F、RVP-6およびZDF-11A2による空冷
FJ-700 F標準ターボ分子ポンプユニットは高真空を得るための洗浄装置です。
このような装置は、真空の原理を採用した真空取得システムであり、機械式ポンプと分子ポンプで構成されています。 それはクイックスタート、高真空、少ない油汚染、容易な操作などにより特徴付けられ、そして表面分析、加速器技術、プラズマ技術、電気真空装置製造および他の真空領域の分野において広く使用されている。 装置は具体的には非標準フレーム、機械式ポンプおよびパイプライン、電気制御システム、水で構成されています
冷却保護制御など
構成:
名 | 数 |
FF-160 / 700F分子ポンプと電源 | 1 |
RVP-6メカニカルポンプ | 1 |
フレーム | 1 |
制御電源 | 1 |
ZDF-11A2コンビネーション真空計 | 1 |
その他の付属品 |
特徴:
1.クイックスタート
高真空
油汚染が少ない
簡単操作
5.幅広い用途
仕様:
単位 | FJ-700 | |
フランジ(イン) | DN160 CF | |
DN160 ISO-K | ||
フランジ(アウト) | ISO-KF | DN40 |
ポンピングスピード | l / s | N 2 :700 |
彼:580 | ||
H 2 :260 | ||
Ar:680 | ||
圧縮率 | N 2:10 9 | |
彼:10 7 | ||
H 2:10 6 | ||
Ar:10 9 | ||
到達圧力 | Pa | CF:6×10 -8 |
ISO-K:6×10 -7 | ||
推奨される前真空圧 | Pa | 100 |
前真空ポンプ | RVP-6(デフォルト) | |
冷却タイプ、標準 | 空気 | |
冷却水消費 | L /分 | > 1 |
冷却水温 | ℃ | ≦25 |
入力電圧/周波数 | V / Hz | 380±20/50 |
環境温度(℃) | 水冷 | 5℃〜40℃ |
取り付け位置 | 垂直 | |
コントローラーモデル | FD-ⅡB/ TCDP-Ⅱ | |
L * W * H | mm | 550×690×850(水) |
重量 | kg | 135 |
メンテナンス:
1.定期メンテナンス:
機器を日常的に使用するときは、真空ポンプのオイルレベルとポンプオイルの色をよく確認してください。 油が不足している場合は、時間内に補給してください。 ポンプオイルの色が異常な場合は、すぐに交換してください。
2.ランニング中のメンテナンス
機器の運転中は、破片が真空チャンバに入り込み、機器が損傷するのを防ぐために、ポンプ式真空チャンバを清潔に保つように注意してください。
コンタクトパーソン: sales
電話番号: +8613810212935