| 最終的な圧力: | CF:6×10-7 ISO-K:6×10-6 Pa | 推薦されたforevacuum圧力: | 6L/s |
|---|---|---|---|
| 冷却: | 水 | forevacuumポンプ: | 6L/s |
| ハイライト: | 小型ポンプ場,真空ポンプの場所 |
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前真空および真空のゲージが付いているポンプ場FJ-620の水冷
FJ-620 E標準ターボ分子ポンプユニットは高真空を得るための洗浄装置です。
このような装置は、真空の原理を採用した真空取得システムであり、機械式ポンプと分子ポンプで構成されています。 それはクイックスタート、高真空、少ない油汚染、簡単な操作などによって特徴付けられ、表面分析、加速器技術の分野で広く使用されて 、プラズマ技術、電気真空装置製造および他の真空領域。 装置は具体的には非標準フレーム、機械式ポンプおよびパイプライン 、 電気制御システム、 水冷保護制御などで構成されています。
特徴：
1.クイックスタート
高真空
油汚染が少ない
簡単操作
5.幅広い用途
構成：
| 名 | 数 |
| F-160 / 620E分子ポンプと電源 | 1 |
| RVP-6メカニカルポンプ | 1 |
| 標準フレーム | 1 |
| 制御電源 | 1 |
| ZDF-11A2コンビネーション真空計 | 1 |
| その他の付属品 |
仕様：
| 単位 | FJ-620 E | |
| フランジ（イン） | DN160 CF | |
| DN160 ISO-K | ||
| フランジ（アウト） | ISO-KF | DN40 |
| ポンピングスピード | l / s | N 2 ：600 |
| 彼：380 | ||
| H 2 ：240 | ||
| Ar：580 | ||
| 圧縮率 | N 2：10 9 | |
| 彼：10 4 | ||
| H 2：10 3 | ||
| Ar：10 9 | ||
| 到達圧力 | Pa | CF：6×10 -7 |
| ISO-K：6×10 -6 | ||
| 推奨される前真空圧 | Pa | 100 |
| 前真空ポンプ | RVP-6（デフォルト） | |
| 冷却タイプ、標準 | 水 | |
| 冷却水消費 | L /分 | > 1 |
| 冷却水温 | ℃ | ≦25 |
| 入力電圧/周波数 | V / Hz | 380±20/50 |
| 環境温度（℃） | 水冷 | 5℃〜40℃ |
| 空冷 | 5℃〜32℃ | |
| 取り付け位置 | 垂直 | |
| コントローラーモデル | FD-ⅡB/ TCDP-Ⅱ | |
| L * W * H | mm | 550×690×956（LF） |
| 550×690×970（CF） | ||
| 重量 | kg | 117 |
コンタクトパーソン: sales
電話番号: +8613810212935
