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フランジ: | ISO-K/CF DN200 | 冷却: | 水 |
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潤滑: | Maglev | ポンプの体積流量: | 1400L/s N2 |
ハイライト: | ターボ分子ポンプ,turbomolecular真空ポンプ |
磁気浮上ポンプ、CXF-200/1400、水冷、ISO-K / CF、外部コントローラー
磁気浮上分子ポンプは、軸力が磁力によって支えられるポンプです。
シリーズ磁気浮上式分子ポンプは、現代の半導体製造、チップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野の用途要件を満たすためにKYKYが開発した真空発生装置です。
テクノロジ:
利点:
1.作動中の摩擦がゼロ、そして低消費電力
2.ポンプのための潤滑なしで本当にきれいな高真空および超高真空を得ること容易
3.腐食性ガスを長期間抽出することが可能
4.精密セラミックボールによるベアリングの保護による高い安全性と長寿命
5.突然電源オフの場合の発電機能
摩擦がない
7.無公害
8.メンテナンス不要
9.低振動
10.任意の向きに取り付けます。
アプリケーション:
エッチング、CVD、PVDおよびイオン注入に存在する腐食性ガスおよび半導体製造、クリップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野において常温で容易に凝固するガスの抽出。
仕様:
フランジ(イン) | DN200 CF / ISO-K、ISO-F |
フランジ(アウト)KF | DN40 |
ポンプ速度(L / s) | N 2 :1400 |
Ar:1360 | |
彼:880 | |
H 2 :560 | |
圧縮率 | N 2:10 8 |
Ar:10 8 | |
彼:10 4 | |
H 2:10 3 | |
到達圧力(Pa) | CF:1×10 -6 |
ISO-K / F:6×10 -6 | |
最大 連続前真空圧(Pa) | 100 |
最大 前真空圧 | N 2 :210 |
ガス処理量(sccm) | N 2 :2700 |
Ar:980 | |
彼:2000 | |
H 2 :1800 | |
回転速度(rpm) | 30000 |
立ち上がり時間(分) | ≤8 |
冷却タイプ、標準 | 水 |
冷却水消費量(リットル/分) | 1 |
冷却水温(℃) | 20 |
電源接続:電圧(V AC) | 220 |
コントローラーモデル | CXF-1400 |
重量(キログラム) | 50(ISO-K / F)52(CF) |
コンタクトパーソン: sales
電話番号: +8613810212935