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潤滑: | Maglev | フランジ: | ISO-K/CF |
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冷却: | 水 | ポンプの体積流量: | 2300L/s N2 |
ハイライト: | ターボ分子ポンプ,turbomolecular真空ポンプ |
磁気浮上ポンプ、CXF-250/2301、ISO-K / CF、ボード上の水冷
磁気浮上式分子ポンプは、軸力が磁力によって支えられるポンプであり、現代の半導体製造、チップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野での応用要件を満たしている。
テクノロジ:
利点:
このポンプは、動作中の摩擦がゼロ、低消費電力などの利点を持っています。ポンプを潤滑することなく、非常にクリーンな高真空および超高真空を簡単に取得できます。精密なセラミックボールと発電機能を備えたベアリングの使用 それは摩擦、汚染および維持管理の自由そして低い振動との利点があり、あらゆる方向で取付けることができる。
アプリケーション:
エッチング、CVD、PVD、イオン注入に存在する腐食性ガスや、半導体製造、クリップ製造、工業用メッキ、科学機器などの分野で常温で凝集しやすいガスの抽出。
仕様:
モデル | CXF-250/2301 |
ポンプ速度(l / s、空気) | 2200 |
圧縮率 | > 1×10 7 |
到達真空度(Pa) | ≦2×10 -7 |
入口フランジ | DN250 ISO K(LF) |
DN250 ISO F | |
DN250 ISO CF | |
アウトレットフランジ | KF 40 |
回転速度(rpm) | 30000 |
立ち上がり時間(分) | 8 |
VIB(mm) | <0.05 |
バッキングポンプ(L / s) | 15年 |
取り付けまたは回転 | どれか |
冷却方法 | 水 |
重量(kg)(コントローラーあり) | 58 |
コンタクトパーソン: sales
電話番号: +8613810212935