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商品の詳細:
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| フランジ: | CF100 | 排気速度: | 65L/s空気、0.6L/sAr |
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| 到達圧力: | 7E-8Pa | 作業速度: | +7KV |
| ハイライト: | スプッターイオンポンプ,スターセルイオンポンプ |
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イオンポンプ , 2L-50 , DN100CF , 65L/s エア , 0.6L/s Ar , +7KV
スパッタイオンポンプは、クリーンな超高真空を得るための真空発生装置です。
スパッタイオンポンプはオイルレス超高真空セットのメインポンプです。
イオン ポンプは閉鎖システムで動作するため、バックアップ ポンプを継続的に動作させる必要がありません。
利点:
1. 高い真空度
2. ゼロ振動
3. ノイズゼロ
4. 清潔さ
5. 操作が便利
アプリケーション:
1. 高エネルギー粒子加速器
2. 制御熱核反応装置
3.電気バキューム装置
4. 半導体材料
5. 電子顕微鏡
6. 質量分析計
原理：
陽極の材質はステンレスバレル、陰極の材質はチタンプレートです。ペニング放電プロセスは、磁界と電界の共同作用によりガスをイオン化し、ガスの排出を実現します。
仕様:
| モデル | 2L-50 | |||
| フランジ | DN100CF | |||
| 排気速度(L/S) | （ 空気） | 65 | ||
| 排気速度 | (アル) | 0.6 | ||
| 起動圧力(Pa) | ≤5×10-4 | |||
| 到達圧力(Pa) | 7×10-8 | |||
| (℃)焼成温度 | ＜200 | |||
| 磁気付き | ||||
| 磁気なし | ＜300 | |||
| 動作電圧(KV) | 7 | |||
| 電極ユニット | 2 | |||
| 寸法(mm) | 90×90(4-M6) | |||
| 長さ*幅*高さ (mm) | 290×120×299 | |||
| (kg) 重量 | 22 | |||
コンタクトパーソン: Mr. Shawn Liu
電話番号: 86-10-82548271
ファックス: 86-010-62564613
