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フランジ: | ISO-K/CF63 | 冷却: | 水 |
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ポンプの体積流量: | 63L/s N2 | 最終的な圧力: | CF:5E-6、ISO-K:3E-5 |
ハイライト: | turbomolecular真空ポンプ,ターボ真空ポンプ |
ターボ分子ポンプ、FF-63 / 80E、水冷、グリース潤滑、計器
機器業界向けにKYKYが開発した機器用のシリーズ分子ポンプは、コンパクトで高性能なタイプです。 それは器械分野の挑戦的な条件を完全に満たすことができます。 より高い回転速度とより最適な抽出構造のために、それは複数のバッキングポンプと互換性があり、そして小分子ガスのためのより強いポンプ能力を有する。
利点:
システム統合のためのコンパクト構造
より多くの選択のための2.モジュール設計
3.より高い前圧力許容差
4.あらゆる取付位置
5.調節可能な回転速度
アプリケーション:
機器用の直列分子ポンプは、質量分析、表面分析および他の科学的研究の分野における高真空発生装置のための適切な選択である。 機器用の耐食性分子ポンプは、塗膜やエッチング産業などの腐食性ガスが関わるプロセスに適用できます。
仕様:
フランジ(イン) | ISO-K / CF63 |
フランジ(アウト)KF | DN16 |
ポンプ速度(L / s) | N 2:62 |
彼:55 | |
H 2:34 | |
Ar:65 | |
圧縮率 | N 2:10 9 |
彼:10 5 | |
H 2:10 4 | |
Ar:10 9 | |
到達圧力(Pa) | CF:5×10 -6 |
ISO-K:3×10 -5 | |
最大 連続前真空圧(Pa) | 500 |
最大 前真空圧 | N 2 :1500 |
ガス処理量(sccm) | N 2:35 |
彼:30 | |
H 2:19 | |
Ar:38 | |
回転速度(rpm) | 72000 |
立ち上がり時間(分) | ≦2 |
冷却タイプ、標準 | 水 |
冷却水消費量(リットル/分) | 1 |
冷却水温(℃) | ≦25 |
電源接続:電圧(V AC) | DC24 / AC220 |
最大消費電力(W) | 90 |
コントローラーモデル | TD-80 / TCP-100 / TC-100 |
コンタクトパーソン: Ms. Wang He
電話番号: 86-10- 82548271
ファックス: 86-010-62564613