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潤滑: | Maglev | フランジ: | ISO-K/CF |
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冷却: | 水 | ポンプの体積流量: | 2300L/s N2 |
ハイライト: | ターボ分子ポンプ,turbomolecular真空ポンプ |
磁気浮上ポンプ、CXF-250/2300、ISO-K / CF、水冷、外部コントローラ
磁気浮上式分子ポンプは、軸力が磁力によって支えられるポンプであり、現代の半導体製造、チップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野での応用要件を満たしている。
テクノロジ:
利点:
このポンプは、動作中の摩擦がゼロ、低消費電力などの利点を持っています。ポンプを潤滑することなく、非常にクリーンな高真空および超高真空を簡単に取得できます。精密なセラミックボールと発電機能を備えたベアリングの使用 それは摩擦、汚染および維持管理の自由そして低い振動との利点があり、あらゆる方向で取付けることができる。
アプリケーション:
エッチング、CVD、PVD、イオン注入に存在する腐食性ガスや、半導体製造、クリップ製造、工業用メッキ、科学機器の分野で常温で凝集しやすいガスの抽出。
仕様:
フランジ(イン) | DN250 CF / ISO-K、ISO-F |
フランジ(アウト)KF | DN40 |
ポンプ速度(L / s) | N 2 :2300 |
Ar:2250 | |
彼:1900 | |
H 2 :850 | |
圧縮率 | N 2:10 8 |
Ar:10 8 | |
彼:10 4 | |
H 2:10 3 | |
到達圧力(Pa) | CF:1×10 -6 |
ISO-K / F:6×10 -6 | |
最大 連続前真空圧(Pa) | 60 |
最大 前真空圧 | N 2 :250 |
ガス処理量(sccm) | N 2 :3600 |
Ar:1400 | |
彼:2800 | |
H 2 :2100 | |
回転速度(rpm) | 27000 |
立ち上がり時間(分) | ≤11 |
冷却タイプ、標準 | 水 |
冷却水消費量(リットル/分) | 1 |
冷却水温(℃) | 20 |
電源接続:電圧(V AC) | 220 |
コントローラーモデル | CXF-2300 |
重量(キログラム) | 59(ISO-K / F)62(CF) |
コンタクトパーソン: sales
電話番号: +8613810212935