| Resolution: | SE 1.5nm@15kV BSE 3nm@30kV | Magnification: | 1x-600000x |
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| Accelerating Voltage: | 0.2kV-30kV | Max Specimen Diameter: | 175mm |
| ハイライト: | スキャンの電子顕微鏡検査の器械使用,sem機械 |
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利点:
◆Schottky Field Emission Gun
◆マルチステージ高性能レンズシステム
◆高ビーム安定性
◆カスタマイズ可能な超大型サンプルチャンバー
◆簡単な操作
◆豊富な拡張性と高コストのパフォーマンス
仕様:
| アイテム | EM8010 | |
| 解決 |
SE 1.5NM@15KV BSE 3NM@30KV
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| 倍率 |
1x-600000x
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| 電子銃 | Schottky Field Emission Gun | |
| 加速電圧 |
0.2kv-30kv
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真空システム
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2つのイオンポンプ、1つの磁気浮揚ターボ分子ポンプ、1つのドライポンプ
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| 客観的な開口部 | モリブデンの開口部は、外部真空システムを調整できます | |
| 標本段階 | 5つの軸ステージ | |
| 旅行 | x(auto) | 0〜80mm |
| 範囲 | y(auto) | 0〜50mm |
| Z(マニュアル) | 0〜30mm | |
| R(マニュアル) | 360° | |
| T(マニュアル) | -5°〜70° | |
| 最大標本直径 | 175mm | |
| 検出器 |
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| 修正 | ステージアップグレード; ebl; stm; afm;加熱段階; cryo段階、引張段階、マイクロナノマニピュレーター、SEM+コーティングマシン; SEM+レーザー | |
| アクセサリー |
EDS/EBSD/STEM/CL/加熱段階/冷却段階/引張段階など。
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コンタクトパーソン: Ms. Wang He
電話番号: 86-10- 82548271
ファックス: 86-010-62564613