| Resolution: | SE：3nm@30KV，8nm@3kV； BSE ：4nm@30KV | Magnification: | 1x-450000x |
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| Specimen Stage: | Five axes stage | Electron Gun: | Pre-aligned tungsten filament |
| ハイライト: | semの電子顕微鏡,sem機械 |
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60年以上のSEM製造経験として、EMシリーズ全体は、電子ビームリソグラフィリモデル、LAB6アップグレード、STM、AFM、加熱段階、クライオステージ;引張段階、マイクロナノマニピュレーターなど、電子ビームリソグラフィリモデル、LAB6アップグレード、統合されたSEM+としての古いシステムの改装およびカスタマイズシステムをサポートしています。
アドバンテージ：
◆オプションの低真空モジュール（LVSE、LVBSE）
◆リッチオートメーション機能
◆列/チャンバー/電気システムのカスタマイズ
◆オプションの大きなサイズのチャンバー
◆広いフィールドナビゲーションカメラ
◆豊富な拡張添付ファイル
仕様：
| アイテム | EM6910タングステンフィラメントSEM | |
| 解決 | SE：3nm@30kv、8nm@3kv；bse：4nm@30kv | |
| 倍率 | 1x-450000x | |
| 電子銃 | 事前に調整されたタングステンフィラメント | |
| 加速電圧 |
0.2kv-30kv
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真空システム
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ターボ分子ポンプ +機械ポンプ
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| 客観的な開口部 | モリブデンの開口部は、外部真空システムを調整できます | |
| 標本段階 | 5つの軸ステージ | |
| 旅行 | x（auto） | 0〜80mm |
| 範囲 | y（auto） | 0〜50mm |
| Z（マニュアル） | 0〜30mm | |
| R（マニュアル） | 360° | |
| T（マニュアル） | -5°〜70° | |
| 最大標本直径 | 175mm | |
| 検出器 |
二次電子検出器
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半導体BSE検出器※
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赤外線CCD
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| Low-Vacuum sed
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| 修正 | ステージアップグレード; EBL; STM; AFM;加熱段階;クライオステージ;引張段階;マイクロナノマニピュレーター; SEM+コーティングマシン; SEM+レーザー | |
| アクセサリー | LAB6、X線検出器（EDS）、EBSD、CL、WDS、コーティングマシン | |
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低真空関数※
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真空レベル10-270pa SE：4nm@30kv、50pa
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コンタクトパーソン: Ms. Wang He
電話番号: 86-10- 82548271
ファックス: 86-010-62564613
