超高真空VATゲートバルブ マニュアル電動駆動 10E5-10E-7 Pa 適用範囲

ゲートバルブ、CCDシリーズ、電動駆動、CCD-200A ND200、10E5-10E-7Pa

新型超高真空ゲートバルブは、独自のバルブをベースに開発された超高真空対応のウルトラシンクタイプのゲートバルブです。バルブ外面はシルバーグレーマット仕上げを採用。見た目も高級感があります。弁体やプレートなどの主要部品にはエア抜き量の極めて少ない304ステンレス鋼を使用し、弁体の動きを実現する駆動部品には316Lステンレス鋼を下に溶接して採用しています。バルブプレートのシールにはエア抜き量が極めて少ない輸入フッ素ゴムガスケットを使用しています。ベーキングが必要な場合は性能指数をご参照ください。バルブの破損やバルブシールの信頼性への影響を防ぎます。

利点:

このシリーズのゲートバルブは、高い信頼性、優れた気密性と超低エア抜き率、安定した動作、小さな騒音と振動、簡単な設置とコンパクトな構造、エレガントな外観などの利点があります。

アプリケーション:

シリーズ超高真空ゲートバルブは超高真空システムの重要な要素の一つであり、超高真空ラインの切り替え機構として使用できます。

超高真空ゲートバルブシリーズは空気や非腐食性ガスを作動媒体とする用途に適しています。

仕様:

原理：

バルブは、ネジ (手動および電動) またはシリンダー ロッド (空​​気圧) 駆動を利用して、シール シャフトの軸方向の動きでリンク機構を押し (引いて)、バルブ スプール アセンブリを駆動して軸方向に動きます。バルブスプールアセンブリのストップブロックが最後まで移動すると、シールプレートとサポートプレートは軸方向の動きを停止します。この時点で、シールプレートとサポートプレートはフランジの横穴と同心になります。バルブスプールアセンブリを押し続けると、シールプレートとサポートプレートの鋼球溝にある鋼球が徐々に押し出され、鋼球によってシールプレートとサポートが切り離され、鋼球が溝から完全に離れたときにそれぞれシール面とフランジの支持面を押し付けます。シールプレートとサポートプレートの面に位置すると、最大押圧力に達し、バルブが完全に閉じ、フッ素ゴムシールリングの作用により所定のシール効果を発揮します。バルブスプールアセンブリが後方に引っ張られると、シールプレートとサポートプレートとフランジ面の間の非常に大きな摩擦により、鋼球はまずシールプレートとサポートプレートの鋼球溝に引き戻され、バネの作用によりシールプレートとサポートがフランジのシール面と支持面を離れて鋼球を鋼球溝に押し込み、バルブスプールアセンブリ全体がリンク機構の駆動により後方に移動し、フランジオリフィスから離れ、バルブが完全に開きます。